摘要：本發(fā)明公開了一種盤狀物夾持裝置，在基體的周緣設(shè)置多個(gè)支撐銷，支撐銷由行程變換機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)做升降運(yùn)動(dòng)，通過(guò)卡爪和支撐銷相互配合，在取放盤狀物時(shí)，支撐銷做上升運(yùn)動(dòng)，遠(yuǎn)離卡盤，保證機(jī)械手末端執(zhí)行器的取放片動(dòng)作，在盤狀物處于工藝狀態(tài)時(shí)，支撐銷做下降運(yùn)動(dòng)，貼合卡盤，避免硅片的背面受到污染，本發(fā)明合理的控制盤狀物與卡盤之間的距離，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、動(dòng)作控制方式便捷可靠、可與各類工藝處理腔體相兼容的優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型實(shí)用新型
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- 發(fā)明人王銳廷;張豹;姬丹丹;王浩;李偉;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201520135875.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年03月10日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年07月15日
- 分類號(hào)H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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