摘要：本發(fā)明公開了一種盤狀物夾持裝置，在基體的周緣設(shè)置多個支撐銷，支撐銷由行程變換機(jī)構(gòu)驅(qū)動做升降運動，通過卡爪和支撐銷相互配合，在取放盤狀物時，支撐銷做上升運動，遠(yuǎn)離卡盤，保證機(jī)械手末端執(zhí)行器的取放片動作，在盤狀物處于工藝狀態(tài)時，支撐銷做下降運動，貼合卡盤，避免硅片的背面受到污染，本發(fā)明合理的控制盤狀物與卡盤之間的距離，具有結(jié)構(gòu)簡單、動作控制方式便捷可靠、可與各類工藝處理腔體相兼容的優(yōu)點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王銳廷;張豹;姬丹丹;王浩;李偉;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201520135875.2
- 申請時間2015年03月10日
- 申請公布號CN204481015U
- 申請公布時間2015年07月15日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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