摘要：本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種進氣分配裝置。該進氣分配裝置包括具有導(dǎo)熱功能的集成塊和用于為集成塊加熱的加熱元件，集成塊內(nèi)設(shè)有多個流道，加熱元件設(shè)置于集成塊中，流道與氣源端連接，且還與腔室連接。本實用新型的進氣分配裝置通過加熱元件加熱集成塊，使得流道內(nèi)通入的氣體得到均勻加熱，從而實現(xiàn)向化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔室內(nèi)進氣時，多路氣體預(yù)熱的功能，且控制流道之間的連接角度，以保證氣體進入腔室的阻力減小，從而保證氣體進入腔室的流速，避免影響設(shè)備生產(chǎn)效率。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人蘭云峰;任鑫;劉東;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201320884748.3
- 申請時間2013年12月30日
- 申請公布號CN203866382U
- 申請公布時間2014年10月08日
- 分類號C23C16/455(2006.01)I;C30B25/14(2006.01)I;
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