摘要：本發(fā)明提供了一種密封結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體設(shè)備，該密封結(jié)構(gòu)具有支撐圈和與之相緊密貼合的柔性密封圈；支撐圈的內(nèi)圈相對于外圈向外傾斜，柔性密封圈緊密貼合與支撐圈向外傾斜的一側(cè)而設(shè)置，使得柔性密封圈依附于支撐圈也形成向外傾斜的內(nèi)圈；柔性密封圈的內(nèi)圈頂部超出支撐圈的內(nèi)圈頂部的一端形成活動部；密封物體向密封圈的內(nèi)圈插入時，從密封圈向外傾斜的一側(cè)向密封圈移動，并且密封物體推著活動部以支撐部的內(nèi)圈頂部為支點且隨著密封物體的移動方向而旋轉(zhuǎn)，使得活動部側(cè)面完全緊密貼合與密封物體表面，從而實現(xiàn)對密封物體的密封。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人董金衛(wèi);
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201610929334.6
- 申請時間2016年10月31日
- 申請公布號CN106409728A
- 申請公布時間2017年02月15日
- 分類號H01L21/67(2006.01)I;
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