摘要：一種半導(dǎo)體設(shè)備承載區(qū)域的硅片分布狀態(tài)光電檢測(cè)裝置以及方法，在位于硅片承載器圓周側(cè)邊的機(jī)械手U形端部相對(duì)位置上，設(shè)置有包括發(fā)射端和接收端的第一和第二光電傳感器組；且承載器和機(jī)械手間可以作相對(duì)旋轉(zhuǎn)和/或定位的運(yùn)動(dòng)；在第一檢測(cè)子階段的自接收模式下，執(zhí)行硅片凸片的異常狀態(tài)極限位置預(yù)掃描指令；通過(guò)在第二和第三檢測(cè)子階段的互接收模下，執(zhí)行硅片凸片的異常狀態(tài)循環(huán)掃描指令和執(zhí)行硅片分布狀態(tài)異常掃描指令，對(duì)硅片發(fā)生處于凸片、疊片、斜片或無(wú)片等異常分布狀態(tài)進(jìn)行掃描檢測(cè)，且在承載器的周圍布設(shè)多個(gè)掃描檢測(cè)點(diǎn)，進(jìn)一步地提高了檢測(cè)精度。因此，本發(fā)明可以很好地避免機(jī)械手運(yùn)動(dòng)造成硅片及設(shè)備損傷，技術(shù)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人徐冬;王凱;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510337060.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年06月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104979245A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年10月14日
- 分類號(hào)H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
