摘要：本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種爐門(mén)控制機(jī)構(gòu)。該爐門(mén)控制機(jī)構(gòu)的升降氣缸通過(guò)導(dǎo)向軸與爐門(mén)連接，旋轉(zhuǎn)氣缸通過(guò)擺桿機(jī)構(gòu)與爐門(mén)連接，限位機(jī)構(gòu)用于限制爐門(mén)的升降和旋轉(zhuǎn)的位置。本實(shí)用新型的爐門(mén)控制機(jī)構(gòu)通過(guò)升降氣缸控制爐門(mén)的升降，通過(guò)旋轉(zhuǎn)氣缸控制爐門(mén)的旋轉(zhuǎn)，通過(guò)導(dǎo)向軸承擔(dān)徑向傾覆力，使機(jī)構(gòu)更加穩(wěn)定，通過(guò)限位機(jī)構(gòu)的設(shè)置使?fàn)t門(mén)實(shí)現(xiàn)精確開(kāi)閉，其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，穩(wěn)定可靠的特點(diǎn)，可以精確方便地控制爐門(mén)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程，節(jié)約成本，提高了工作效率，同時(shí)可以進(jìn)一步優(yōu)化微環(huán)境的潔凈度。
- 專利類(lèi)型實(shí)用新型
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- 發(fā)明人張敏亮;林欣家;郝琪;
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- 申請(qǐng)時(shí)間2013年12月24日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203744726U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年07月30日
- 分類(lèi)號(hào)F27D1/18(2006.01)I;
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