摘要：本實用新型涉及半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種爐門控制機構(gòu)。該爐門控制機構(gòu)的升降氣缸通過導(dǎo)向軸與爐門連接，旋轉(zhuǎn)氣缸通過擺桿機構(gòu)與爐門連接，限位機構(gòu)用于限制爐門的升降和旋轉(zhuǎn)的位置。本實用新型的爐門控制機構(gòu)通過升降氣缸控制爐門的升降，通過旋轉(zhuǎn)氣缸控制爐門的旋轉(zhuǎn)，通過導(dǎo)向軸承擔(dān)徑向傾覆力，使機構(gòu)更加穩(wěn)定，通過限位機構(gòu)的設(shè)置使?fàn)t門實現(xiàn)精確開閉，其具有結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定可靠的特點，可以精確方便地控制爐門的運動過程，節(jié)約成本，提高了工作效率，同時可以進一步優(yōu)化微環(huán)境的潔凈度。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人張敏亮;林欣家;郝琪;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201320859115.7
- 申請時間2013年12月24日
- 申請公布號CN203744726U
- 申請公布時間2014年07月30日
- 分類號F27D1/18(2006.01)I;
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