摘要：本發(fā)明公開了一種氧化爐爐門的開關(guān)控制方法，其包括爐門到達開關(guān)動作的預(yù)設(shè)行程終點，判斷對應(yīng)的接近開關(guān)是否被觸發(fā)；爐門向開關(guān)動作的反方向運動，判斷該接近開關(guān)是否被取消觸發(fā)；爐門向開關(guān)動作的正方向運動，判斷該接近開關(guān)是否被觸發(fā)，若是，則判斷該接近開關(guān)無故障，該爐門開關(guān)動作完成。本發(fā)明通過接近開關(guān)的觸發(fā)、取消觸發(fā)和再次觸發(fā)三步法，來確認接近開關(guān)是否有故障，避免了系統(tǒng)錯誤辨別爐門狀態(tài)而導(dǎo)致后續(xù)發(fā)生碰撞的可能性，提高了半導(dǎo)體制造設(shè)備的安全性和可靠性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人張海輪;周峰;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410174332.1
- 申請時間2014年04月28日
- 申請公布號CN103925795B
- 申請公布時間2015年07月15日
- 分類號F27D1/18(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I;
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