摘要：本發(fā)明涉及一種用于氣體的質(zhì)量流量控制器，包括殼體和與殼體緊密螺接的本體，殼體內(nèi)部設(shè)置有支架，一流量傳感器和電路板分別與支架螺紋連接，本體內(nèi)設(shè)有氣體通道，一電磁閥固定在本體上部，所述流量傳感器和電磁閥分別與氣體通道相通，所述本體內(nèi)有一壓力傳感器，壓力傳感器位于本體內(nèi)的氣體通道上，氣體的流通量根據(jù)流量傳感器和壓力傳感器的數(shù)值進(jìn)行調(diào)整。本質(zhì)量流量控制器屬于壓力不敏感型，全金屬密封結(jié)構(gòu)，耐腐蝕，應(yīng)用范圍廣。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人蘇乾益;牟昌華;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200910238445.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年11月20日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101714003B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年07月25日
- 分類號(hào)G05D7/00(2006.01)I;G05D7/06(2006.01)I;
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