摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體晶片的夾持裝置，通過(guò)在旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)設(shè)置由磁性動(dòng)子、定子以及與動(dòng)子構(gòu)成螺旋副的螺桿所組成的夾持件，并通過(guò)控制單元控制定子的多組線圈中通電電流的通電次序，形成旋轉(zhuǎn)變化的磁場(chǎng)，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿螺桿在下方工藝高度與上方取放晶片高度之間作旋轉(zhuǎn)升降運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)動(dòng)子上的擋塊在夾緊晶片的角度與松開(kāi)晶片的角度之間轉(zhuǎn)動(dòng)，將晶片夾緊或松開(kāi)，能夠有效解決由于被夾持晶片與卡盤(pán)上潔凈氣體噴射裝置距離過(guò)大、造成工藝過(guò)程中不能對(duì)晶片背面進(jìn)行有效保護(hù)的問(wèn)題，避免化學(xué)液對(duì)晶片背面的污染，同時(shí)，可為從晶片背面抓取晶片的機(jī)械手在取放片時(shí)留有足夠的操作空間，提高了晶片取放動(dòng)作的可靠性。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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