摘要：本實用新型公開了一種半導(dǎo)體晶片的夾持裝置，通過在旋轉(zhuǎn)卡盤設(shè)置由磁性動子、定子以及與動子構(gòu)成螺旋副的螺桿所組成的夾持件，并通過控制單元控制定子的多組線圈中通電電流的通電次序，形成旋轉(zhuǎn)變化的磁場，驅(qū)動動子沿螺桿在下方工藝高度與上方取放晶片高度之間作旋轉(zhuǎn)升降運動，并帶動動子上的擋塊在夾緊晶片的角度與松開晶片的角度之間轉(zhuǎn)動，將晶片夾緊或松開，能夠有效解決由于被夾持晶片與卡盤上潔凈氣體噴射裝置距離過大、造成工藝過程中不能對晶片背面進行有效保護的問題，避免化學(xué)液對晶片背面的污染，同時，可為從晶片背面抓取晶片的機械手在取放片時留有足夠的操作空間，提高了晶片取放動作的可靠性。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人馬嘉;姬丹丹;吳儀;王銳廷;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201520012843.3
- 申請時間2015年01月08日
- 申請公布號CN204303791U
- 申請公布時間2015年04月29日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;
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