摘要：一種晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，包括基板、設(shè)置于基板上的第一支撐裝置、用于驅(qū)動(dòng)第一支撐裝置相對(duì)基板旋轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動(dòng)裝置、部分設(shè)置于基板下方的第二支撐裝置、用于驅(qū)動(dòng)第二支撐裝置相對(duì)基板上下移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置。第一支撐裝置包括多個(gè)用于支撐晶圓的第一支撐臂，第二支撐裝置包括多個(gè)用于支撐晶圓的第二支撐臂，預(yù)對(duì)準(zhǔn)時(shí)，第一支撐裝置的旋轉(zhuǎn)和第二支撐裝置的上下運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)晶圓的交接，交接過(guò)程中實(shí)現(xiàn)晶圓位置的調(diào)整。第一支撐裝置的旋轉(zhuǎn)和第二支撐裝置的上下運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，多個(gè)第一支撐臂或多個(gè)第二支撐臂同時(shí)動(dòng)作，使晶圓受力均勻，不會(huì)出現(xiàn)無(wú)法支撐晶圓的后果，實(shí)現(xiàn)晶圓穩(wěn)定交接以完成預(yù)對(duì)準(zhǔn)。該晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的穩(wěn)定性較好，可以大大提高預(yù)對(duì)準(zhǔn)效率。
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