摘要：本發(fā)明涉及半導體集成電路器件清洗技術(shù)領域，公開了一種具有監(jiān)測半導體晶片狀態(tài)功能的夾持裝置，包括：可旋轉(zhuǎn)的卡盤、位于所述卡盤幾何中心的旋轉(zhuǎn)軸、固定于所述旋轉(zhuǎn)軸上的傳感器、以及分布在所述卡盤上的至少三個夾持元件。本發(fā)明還提供了一種監(jiān)測半導體晶片狀態(tài)的方法。本發(fā)明通過凸輪和卡盤的相對轉(zhuǎn)動來放松或夾緊晶片，結(jié)構(gòu)簡單、容易實現(xiàn)，進一步通過傳感器精確測量晶片是否夾緊，避免了夾緊力過小造成晶片夾持不緊，或者夾緊力過大造成對晶片的破壞，穩(wěn)定性得以提高。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人劉偉;吳儀;張豹;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201210348350.8
- 申請時間2012年09月18日
- 申請公布號CN102867771A
- 申請公布時間2013年01月09日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;
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