摘要：本發(fā)明屬于半導體晶片工藝技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種盤狀物夾持裝置。本發(fā)明所提供的盤狀物夾持裝置通過設置兩組夾持元件組，每組夾持元件組分別包括若干個夾持元件，且每個夾持元件均可以其與卡盤主體的連接點為旋轉(zhuǎn)中心在豎直平面旋轉(zhuǎn)，并在每個夾持元件相對的位置設置驅(qū)動組件，用于推動或吸引夾持元件以其旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)夾持或打開晶片，通過控制驅(qū)動組件，使得在晶片清洗過程中兩組夾持元件組交替夾持、打開晶片，實現(xiàn)對夾持元件與晶片接觸地方的清洗，大大提高了晶片的整體清洗質(zhì)量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人劉福生;張豹;王銳廷;吳儀;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201210406346.2
- 申請時間2012年10月23日
- 申請公布號CN102945820B
- 申請公布時間2015年03月18日
- 分類號H01L21/687(2006.01)I;
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