摘要：本發(fā)明提供了一種集成調(diào)度系統(tǒng)的EFEM及其調(diào)度方法，通過把工藝處理工作站(Cluster?tools)中起調(diào)度作用的工控機(jī)與EFEM的控制器結(jié)合，即EFEM的控制器由集成調(diào)度的EFEM工控機(jī)取代，使得EFEM具有良好的二次開發(fā)性，在運(yùn)行系統(tǒng)時可以根據(jù)具體需求對大氣機(jī)械手、Load?Port組、預(yù)對準(zhǔn)模塊等模塊進(jìn)行示教、信號配置、工藝過程處理。同時將大氣機(jī)械手、Load?Port組、預(yù)對準(zhǔn)模塊這些模塊的底層驅(qū)動嵌入到EFEM中，所以無需再進(jìn)行設(shè)置開發(fā)即可實現(xiàn)調(diào)度控制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人曲道奎;徐方;賈凱;褚明杰;劉一恒;劉世昌;沈德峰;陳廷輝;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201210003784.4
- 申請時間2012年01月06日
- 申請公布號CN103199036A
- 申請公布時間2013年07月10日
- 分類號H01L21/67(2006.01)I;G05B19/418(2006.01)I;
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