摘要：本發(fā)明公開了一種基于空間隔離的納米顆粒原子層沉積裝置及方法，本發(fā)明使待包覆的納米顆粒隨氣流通過分布有多個電極的管路，顆粒經(jīng)過電極時由于尖端放電作用帶上同種電荷，從而使納米顆粒間相互排斥，防止團(tuán)聚，達(dá)到分散顆粒的目的，然后通過清洗區(qū)域或前驅(qū)體反應(yīng)區(qū)域，實現(xiàn)納米顆粒的均勻包覆。本發(fā)明采用空間隔離的原理，使原子層沉積不同過程互不影響，能實現(xiàn)常壓下納米顆粒的快速均勻包覆，提高了沉積薄膜的包覆率、均勻性以及粉體表面包覆的效率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人陳蓉;巴偉明;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201610371245.4
- 申請時間2016年05月30日
- 申請公布號CN106048559A
- 申請公布時間2016年10月26日
- 分類號C23C16/455(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I;
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