摘要：本發(fā)明公開了一種白光干涉原子力顯微鏡探針自動標(biāo)定系統(tǒng)及自動標(biāo)定方法，其中實現(xiàn)自動標(biāo)定控制方法中主要涉及的自動標(biāo)定系統(tǒng)包括：標(biāo)定樣板，原子力探針組件，原子力探針，干涉顯微物鏡，面CCD及光路系統(tǒng)，水平二維電機(jī)運動平臺，垂直電機(jī)運動和垂直納米位移平臺。按照本發(fā)明實現(xiàn)的自動標(biāo)定系統(tǒng)以及根據(jù)該標(biāo)定樣板執(zhí)行的標(biāo)定方法，根據(jù)標(biāo)定樣板上的光強(qiáng)與探針表面的光強(qiáng)的對比關(guān)系來控制垂直電機(jī)運動平臺和垂直納米位移平臺運動，從而控制探針接觸到標(biāo)定樣板上的位置，由此完成標(biāo)定，此方法能進(jìn)一步提高標(biāo)定速度，并且操作簡單。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人盧文龍;曾春陽;劉曉軍;周莉萍;庾能國;楊文軍;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201610801968.3
- 申請時間2016年09月05日
- 申請公布號CN106199079A
- 申請公布時間2016年12月07日
- 分類號G01Q60/24(2010.01)I;G01Q70/00(2010.01)I;
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