摘要：本發(fā)明公開了一種基于白光干涉原子力探針掃描顯微鏡探針系統(tǒng)的成像自動調整裝置自動及其控制方法，該裝置主要包括計算機，夾持機構及鉸鏈機構，原子力探針及其探針組件，白光干涉顯微系統(tǒng)，面CCD光路連接筒。在白光干涉原子力探針顯微鏡連接完成的情況下，根據(jù)面CCD上探針的成像與面CCD坐標系的水平夾角，通過計算機來控制舵機偏轉一定的角度，使得原子力探針在面CCD中的成像與面CCD坐標系中的夾角在誤差范圍內，從而得到測量的結果有較小的測量誤差。本發(fā)明可以實現(xiàn)探針在面CCD中的成像的自動調整，具有便捷控制，控制精度高，操作簡單的優(yōu)勢。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發(fā)明人盧文龍;曾春陽;劉曉軍;庾能國;楊文軍;周莉萍;常素萍;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201610145779.5
- 申請時間2016年03月15日
- 申請公布號CN105699704A
- 申請公布時間2016年06月22日
- 分類號G01Q60/24(2010.01)I;
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