摘要：本發(fā)明公開了一種面、線CCD組合的白光干涉原子力探針掃描顯微鏡測量系統(tǒng)及其測量方法，該測量系統(tǒng)包括面、線CCD測量系統(tǒng)，原子力探針掃描顯微鏡組件，干涉光源系統(tǒng)，調(diào)整系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)；干涉光源系統(tǒng)用于產(chǎn)生測試的白光光源傳輸于原子力探針掃描顯微鏡組件，其產(chǎn)生包含樣品信息的干涉條紋；數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)連接所述面、線CCD測量系統(tǒng)，分析所述干涉條紋，由此實現(xiàn)干涉零級條紋的測量，從而獲得樣品表面信息。按照本發(fā)明實現(xiàn)的面、線CCD組合的白光干涉原子力探針掃描顯微鏡測量系統(tǒng)及其測量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)簡單，高速度，高精度和高分辨率以及直觀測量，由此解決原子力探針對焦困難，以及原子力探針微懸臂變形的檢測的問題。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發(fā)明人盧文龍;庾能國;劉曉軍;楊文軍;常素萍;曾春陽;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201510061415.4
- 申請時間2015年02月05日
- 申請公布號CN104614558A
- 申請公布時間2015年05月13日
- 分類號G01Q60/24(2010.01)I;G01Q20/02(2010.01)I;
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