摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種面、線CCD組合的白光干涉原子力探針掃描顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法，該測(cè)量系統(tǒng)包括面、線CCD測(cè)量系統(tǒng)，原子力探針掃描顯微鏡組件，干涉光源系統(tǒng)，調(diào)整系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)；干涉光源系統(tǒng)用于產(chǎn)生測(cè)試的白光光源傳輸于原子力探針掃描顯微鏡組件，其產(chǎn)生包含樣品信息的干涉條紋；數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)連接所述面、線CCD測(cè)量系統(tǒng)，分析所述干涉條紋，由此實(shí)現(xiàn)干涉零級(jí)條紋的測(cè)量，從而獲得樣品表面信息。按照本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的面、線CCD組合的白光干涉原子力探針掃描顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，高速度，高精度和高分辨率以及直觀測(cè)量，由此解決原子力探針對(duì)焦困難，以及原子力探針微懸臂變形的檢測(cè)的問(wèn)題。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人盧文龍;庾能?chē)?guó);劉曉軍;楊文軍;常素萍;曾春陽(yáng);
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510061415.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年02月05日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104614558B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年08月19日
- 分類(lèi)號(hào)G01Q60/24(2010.01)I;G01Q20/02(2010.01)I;
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