摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種基于白光干涉原子力探針掃描顯微鏡探針系統(tǒng)的成像自動(dòng)調(diào)整裝置自動(dòng)及其控制方法，該裝置主要包括計(jì)算機(jī)，夾持機(jī)構(gòu)及鉸鏈機(jī)構(gòu)，原子力探針及其探針組件，白光干涉顯微系統(tǒng)，面CCD光路連接筒。在白光干涉原子力探針顯微鏡連接完成的情況下，根據(jù)面CCD上探針的成像與面CCD坐標(biāo)系的水平夾角，通過(guò)計(jì)算機(jī)來(lái)控制舵機(jī)偏轉(zhuǎn)一定的角度，使得原子力探針在面CCD中的成像與面CCD坐標(biāo)系中的夾角在誤差范圍內(nèi)，從而得到測(cè)量的結(jié)果有較小的測(cè)量誤差。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)探針在面CCD中的成像的自動(dòng)調(diào)整，具有便捷控制，控制精度高，操作簡(jiǎn)單的優(yōu)勢(shì)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人盧文龍;曾春陽(yáng);劉曉軍;庾能?chē)?guó);楊文軍;周莉萍;常素萍;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610145779.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年03月15日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105699704B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年12月14日
- 分類(lèi)號(hào)G01Q60/24(2010.01)I;
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