摘要：一種硅片分布狀態(tài)圖像組合檢測(cè)方法以及裝置，該裝置包括在位于硅片組上方設(shè)置圖像傳感單元，以及設(shè)置在機(jī)械手上的光電掃描單元或超聲掃描單元；且光電掃描單元或超聲掃描單元通過(guò)機(jī)械手驅(qū)動(dòng)水平或垂直定位；在第一檢測(cè)階段的圖像采集模式下，執(zhí)行硅片凸片的異常狀態(tài)極限位置預(yù)掃描指令；通過(guò)在第二檢測(cè)階段的光電掃描/超聲掃描單元先工作在自接收測(cè)距模式，進(jìn)行在預(yù)掃描出凸片上方所有硅片的循環(huán)掃描指令，第三檢測(cè)階段轉(zhuǎn)換為互接收工作模式，執(zhí)行硅片分布狀態(tài)異常掃描指令，以及第四檢測(cè)階段又轉(zhuǎn)換成自接收工作模式，執(zhí)行在預(yù)掃描出凸片下方所有硅片的循環(huán)掃描指令；且在承載器的周圍布設(shè)多個(gè)掃描檢測(cè)點(diǎn)，進(jìn)一步地提高了檢測(cè)精度。
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