摘要：一種半導體設備承載區(qū)域的硅片分布狀態(tài)光電掃描方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側邊的機械手上U形端部的相對位置，設置有兩個互為發(fā)射端和接收端的光電傳感器，機械手為該光電傳感器提供水平和垂直和/或定位的移動，且承載器和機械手間可以作相對旋轉和/或定位的運動；通過兩個對射式光電傳感器的反饋值接收時間隨遮擋的范圍產(chǎn)生強度上或寬度上的變化，對硅片發(fā)生處于凸片、疊片、斜片或無片等異常分布狀態(tài)進行掃描檢測，且在承載器的周圍布設多個掃描檢測點，進一步地提高了檢測精度。因此，本發(fā)明可以快速準確檢測硅片半導體設備承載區(qū)域內(nèi)的硅片分布狀態(tài)，很好地避免了機械手運動造成硅片及設備損傷，且實現(xiàn)簡單。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人徐冬;王凱;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201510337909.0
- 申請時間2015年06月17日
- 申請公布號CN105097592A
- 申請公布時間2015年11月25日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;
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