摘要：一種半導(dǎo)體設(shè)備承載區(qū)域的硅片分布狀態(tài)光電掃描方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側(cè)邊的機(jī)械手上U形端部的相對(duì)位置，設(shè)置有兩個(gè)互為發(fā)射端和接收端的光電傳感器，機(jī)械手為該光電傳感器提供水平和垂直和/或定位的移動(dòng)，且承載器和機(jī)械手間可以作相對(duì)旋轉(zhuǎn)和/或定位的運(yùn)動(dòng)；通過(guò)兩個(gè)對(duì)射式光電傳感器的反饋值接收時(shí)間隨遮擋的范圍產(chǎn)生強(qiáng)度上或?qū)挾壬系淖兓?，?duì)硅片發(fā)生處于凸片、疊片、斜片或無(wú)片等異常分布狀態(tài)進(jìn)行掃描檢測(cè)，且在承載器的周?chē)荚O(shè)多個(gè)掃描檢測(cè)點(diǎn)，進(jìn)一步地提高了檢測(cè)精度。因此，本發(fā)明可以快速準(zhǔn)確檢測(cè)硅片半導(dǎo)體設(shè)備承載區(qū)域內(nèi)的硅片分布狀態(tài)，很好地避免了機(jī)械手運(yùn)動(dòng)造成硅片及設(shè)備損傷，且實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單。
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