摘要：本發(fā)明提供了一種硅片分布狀態(tài)光電圖像組合掃描的方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側(cè)邊的機(jī)械手上U形端部的相對位置，設(shè)置有兩個工作在自接收和/或互接收模式的光電傳感器，機(jī)械手為該光電傳感器提供水平和垂直和/或定位的移動，執(zhí)行硅片凸片的異常狀態(tài)預(yù)掃描和循環(huán)掃描指令，以及圖像傳感單元定位于承載器側(cè)邊周圍，并沿硅片的平行方向，從上至下依次拍攝硅片組中每片硅片的側(cè)邊平面圖像，判斷相應(yīng)硅片是否存在斜片、疊片和/或空片的異常狀態(tài)；且本發(fā)明還在承載器的周圍布設(shè)多個掃描檢測點，可以快速準(zhǔn)確檢測硅片半導(dǎo)體設(shè)備承載區(qū)域內(nèi)的硅片分布狀態(tài)，很好地避免了機(jī)械手運動造成硅片及設(shè)備損傷，且進(jìn)一步地提高了檢測精度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人徐冬;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201510337586.5
- 申請時間2015年06月17日
- 申請公布號CN105097591A
- 申請公布時間2015年11月25日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;
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