摘要：本發(fā)明提供了一種硅片分布狀態(tài)光電圖像組合掃描的方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側(cè)邊的機(jī)械手上U形端部的相對(duì)位置，設(shè)置有兩個(gè)工作在自接收和/或互接收模式的光電傳感器，機(jī)械手為該光電傳感器提供水平和垂直和/或定位的移動(dòng)，執(zhí)行硅片凸片的異常狀態(tài)預(yù)掃描和循環(huán)掃描指令，以及圖像傳感單元定位于承載器側(cè)邊周圍，并沿硅片的平行方向，從上至下依次拍攝硅片組中每片硅片的側(cè)邊平面圖像，判斷相應(yīng)硅片是否存在斜片、疊片和/或空片的異常狀態(tài)；且本發(fā)明還在承載器的周圍布設(shè)多個(gè)掃描檢測(cè)點(diǎn)，可以快速準(zhǔn)確檢測(cè)硅片半導(dǎo)體設(shè)備承載區(qū)域內(nèi)的硅片分布狀態(tài)，很好地避免了機(jī)械手運(yùn)動(dòng)造成硅片及設(shè)備損傷，且進(jìn)一步地提高了檢測(cè)精度。
- 專利類型發(fā)明專利
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- 發(fā)明人徐冬;慕曉航;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510337586.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年06月17日
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- 分類號(hào)H01L21/66(2006.01)I;
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