摘要：一種組合式半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的硅片承載區(qū)掃描的方法及裝置，其在位于硅片承載器圓周側(cè)邊的機(jī)械手上U形端部的相對(duì)位置，設(shè)置有兩個(gè)工作在自接收和/或互接收模式的光電傳感器/超聲波傳感器，執(zhí)行硅片凸片的異常狀態(tài)預(yù)掃描和循環(huán)掃描指令，以及圖像傳感單元(包括多個(gè)圖像傳感器)固定位于承載器側(cè)周，即布設(shè)多個(gè)掃描檢測(cè)點(diǎn)，其將隨所述承載器移動(dòng)至其坐標(biāo)位置的第一個(gè)放置硅片的位置作為起始采集位置，沿硅片放置的平行方向拍攝所有硅片的側(cè)邊平面圖像，并判斷相應(yīng)硅片是否存在斜片、疊片和/或空片的異常狀態(tài)；本發(fā)明可以快速準(zhǔn)確檢測(cè)硅片半導(dǎo)體設(shè)備承載區(qū)域內(nèi)的硅片分布狀態(tài)，很好地避免了機(jī)械手運(yùn)動(dòng)造成硅片及設(shè)備損傷。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人徐冬;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510337040.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年06月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105097590A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年11月25日
- 分類號(hào)H01L21/66(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
