摘要：本實用新型公開了一種多路實時膜厚監(jiān)控儀，它包括主機和連接在主機上的至少一個振蕩探測組件，所述振蕩探測組件由振蕩器和探頭組成，振蕩器的輸出端連接主機，而輸入端連接探頭。本實用新型所述多路實時膜厚監(jiān)控儀可多路同步實時動態(tài)監(jiān)測多個鍍膜蒸發(fā)源頭內(nèi)膜層的幾何厚度、沉積速率等鍍膜參數(shù)，掌握每個蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和膜層厚度，然后通過單片機PWM輸出來同時實現(xiàn)多臺鍍膜設備的高精度鍍膜功率控制，故在實際的使用過程中，可以替代多臺常規(guī)產(chǎn)品使用，成本低、但效率高。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州碩光科技有限公司;
- 發(fā)明人吳向方;劉俊男;
- 地址215011江蘇省蘇州市新區(qū)玉山路1號
- 申請?zhí)?/b>CN200920141754.3
- 申請時間2009年02月19日
- 申請公布號CN201369319Y
- 申請公布時間2009年12月23日
- 分類號H01L21/66(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;
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