摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多路實(shí)時(shí)膜厚監(jiān)控儀，它包括主機(jī)和連接在主機(jī)上的至少一個(gè)振蕩探測(cè)組件，所述振蕩探測(cè)組件由振蕩器和探頭組成，振蕩器的輸出端連接主機(jī)，而輸入端連接探頭。本實(shí)用新型所述多路實(shí)時(shí)膜厚監(jiān)控儀可多路同步實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)多個(gè)鍍膜蒸發(fā)源頭內(nèi)膜層的幾何厚度、沉積速率等鍍膜參數(shù)，掌握每個(gè)蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和膜層厚度，然后通過(guò)單片機(jī)PWM輸出來(lái)同時(shí)實(shí)現(xiàn)多臺(tái)鍍膜設(shè)備的高精度鍍膜功率控制，故在實(shí)際的使用過(guò)程中，可以替代多臺(tái)常規(guī)產(chǎn)品使用，成本低、但效率高。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人蘇州碩光科技有限公司;
- 發(fā)明人吳向方;劉俊男;
- 地址215011江蘇省蘇州市新區(qū)玉山路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200920141754.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年02月19日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201369319Y
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年12月23日
- 分類號(hào)H01L21/66(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;
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