摘要：本發(fā)明涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)一種基于DSP的晶圓偏心在線檢測(cè)裝置。本發(fā)明的在線檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)晶圓偏心，包括：機(jī)器人控制器、真空機(jī)械手、第一傳感器、第二傳感器和工位；所述機(jī)器人控制器與所述真空機(jī)械手相連；所述第一傳感器、第二傳感器與所述機(jī)器人控制器相連，且所述第一傳感器、第二傳感器前后布置在傳輸路徑上，所述傳輸路徑為所述真空機(jī)械手將晶圓傳送至工位的路徑。本發(fā)明利用采用三點(diǎn)確定圓法，傳感器數(shù)據(jù)采集使用驅(qū)動(dòng)器IO采集，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)時(shí)間短、成功率高，且可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)械手上晶片破損、嚴(yán)重偏位、掉片等異常情況的判斷。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司;
- 發(fā)明人鄒風(fēng)山;李崇;張峰;宋吉來(lái);陳守良;韓志平;
- 地址110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)金輝街16號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410637193.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月12日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105655266A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月08日
- 分類號(hào)H01L21/66(2006.01)I;
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