摘要：本發(fā)明公開了一種適應(yīng)基片交接位置誤差的機械手傳遞裝置，由機械手和與之配套的基片托構(gòu)成，其特點是在機械手的腕部安裝了變遠心順應(yīng)機構(gòu)，該變遠心順應(yīng)機構(gòu)能夠自動調(diào)整和適應(yīng)機械手前部取托指和基片托配位時的位置誤差，從而順利完成基片的傳遞交接，因此采用本發(fā)明進行基片的傳遞，可減少監(jiān)控元件的使用數(shù)量，同時簡化整套機械傳遞裝置的自動控制系統(tǒng)，從而大大降低設(shè)備制造和使用成本，并可顯著提高鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人蘇州碩光科技有限公司;
- 發(fā)明人吳向方;黃倫;
- 地址215000江蘇省蘇州市高新區(qū)玉山路1號
- 申請?zhí)?/b>CN200910115211.9
- 申請時間2009年04月15日
- 申請公布號CN101525739A
- 申請公布時間2009年09月09日
- 分類號C23C14/54(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;
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