摘要：本發(fā)明提供了一種斜角入射沉積系統(tǒng)，包括圓柱狀的腔體，腔體的上方設(shè)有頂蓋，腔體內(nèi)由下至上依次設(shè)有電子束蒸發(fā)器、環(huán)形液態(tài)氮存儲裝置以及樣品操作裝置；所述電子束蒸發(fā)器由腔體外伸入腔體內(nèi)，電子束蒸發(fā)器位于腔體內(nèi)的端部上設(shè)置蒸發(fā)源材料；所述環(huán)形液態(tài)氮存儲裝置用于冷卻操作裝置，環(huán)形液態(tài)氮存儲裝置上設(shè)有液氮進(jìn)管和液氮出管，液氮進(jìn)管和液氮出管分別延伸出頂蓋；環(huán)形液態(tài)氮存儲裝置中部設(shè)有氣動快門，用于控制蒸發(fā)源材料與樣品操作裝置之間的通路。本發(fā)明兩個軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動以及沉積高度的調(diào)整，形成不同沉積角度，得到了多種形態(tài)的微納米薄膜結(jié)構(gòu)，很好解決了光學(xué)和電子刻蝕形成微納米薄膜費(fèi)用高、適用材料有限、制作時間較長的缺點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人南京工業(yè)大學(xué);
- 發(fā)明人殷晨波;唐光大;徐海涵;楊柳;吳禮峰;
- 地址210009 江蘇省南京市中山北路200號41號信箱
- 申請?zhí)?/b>CN201410015993.X
- 申請時間2014年01月14日
- 申請公布號CN103789743B
- 申請公布時間2015年09月16日
- 分類號C23C14/54(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;
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