摘要：一種隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，本實(shí)用新型的膜厚控制儀主機(jī)位于爐體頂板上方安裝在轉(zhuǎn)軸上端，晶振探頭安裝在工件轉(zhuǎn)架上，晶振探頭的電導(dǎo)線和信號(hào)線從轉(zhuǎn)軸的上部的中空的腔體中密封穿出爐體，冷卻水回路從轉(zhuǎn)軸的下部的中空的腔體中密封穿出爐體，即本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了晶振探頭水電的分開傳送。本實(shí)用新型把晶振探頭的冷卻水回路及其電導(dǎo)線與信號(hào)線分開分別從爐體傳動(dòng)軸的下部和上部傳送，改變了現(xiàn)有技術(shù)中集中在傳動(dòng)軸上部傳送的方式，水電分離傳送，簡(jiǎn)化了之前傳動(dòng)軸上述龐雜的結(jié)構(gòu)，有利于提高設(shè)備的可靠性，降低故障率。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;李志方;羅志明;陸創(chuàng)程;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420374888.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年07月08日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204111863U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年01月21日
- 分類號(hào)C23C14/54(2006.01)I;
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