摘要：本發(fā)明公開了一種公轉與自轉均可獨立調速的真空鍍膜機工件轉架運動機構，本發(fā)明設置兩個驅動機構，并通過設計工件轉架三重運動機構之間的聯(lián)動關系，使本發(fā)明工件轉架運動機構具有多種不同的運動模式，從而使本發(fā)明的工件轉架運動機構除完成現(xiàn)有工件轉架的三重運動外，還可通過對兩個驅動機構的控制，使采用本發(fā)明的工件轉架運動機構的工件轉架的公轉與自轉均可獨立調速。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;潘銳華;羅志明;李志方;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201610099320.6
- 申請時間2016年02月23日
- 申請公布號CN105603377A
- 申請公布時間2016年05月25日
- 分類號C23C14/50(2006.01)I;
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