摘要：本發(fā)明公開了一種公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，本發(fā)明設(shè)置兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并通過設(shè)計(jì)工件轉(zhuǎn)架三重運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)之間的聯(lián)動(dòng)關(guān)系，使本發(fā)明工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有多種不同的運(yùn)動(dòng)模式，從而使本發(fā)明的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)除完成現(xiàn)有工件轉(zhuǎn)架的三重運(yùn)動(dòng)外，還可通過對兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制，使采用本發(fā)明的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的工件轉(zhuǎn)架的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;潘銳華;羅志明;李志方;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201610099320.6
- 申請時(shí)間2016年02月23日
- 申請公布號(hào)CN105603377A
- 申請公布時(shí)間2016年05月25日
- 分類號(hào)C23C14/50(2006.01)I;
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