摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)翻轉(zhuǎn)的基片架，基片架包括基片卡具，基片卡具通過(guò)回轉(zhuǎn)軸安裝在支座上，回轉(zhuǎn)軸的后端設(shè)有棘輪，與棘輪對(duì)應(yīng)的部位設(shè)有棘爪，棘爪連接有升降裝置；當(dāng)棘爪上升時(shí)，棘爪與棘輪嚙合；當(dāng)棘爪下降時(shí)，棘爪與棘輪分離。通過(guò)棘輪-棘爪機(jī)構(gòu)可以在鍍膜過(guò)程中實(shí)現(xiàn)基片的自由翻轉(zhuǎn)，克服真空濺射鍍膜設(shè)備和真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備繞射性差的特點(diǎn)，使基片的兩個(gè)表面在一次鍍膜工藝過(guò)程中都能均勻、牢固的沉積上薄膜，以達(dá)到完成工藝要求、保證鍍膜質(zhì)量同時(shí)提高工作效率的目的。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人李輝;
- 地址102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220101661.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年03月16日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202499902U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年10月24日
- 分類號(hào)C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;
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