摘要：本實(shí)用新型涉及一種烘烤電極。該烘烤電極包括電極桿、放置所述電極桿的絕緣座、安裝于所述絕緣座底部的法蘭，所述烘烤電極還包括絕緣套，其罩住所述電極桿及絕緣座上部暴露于真空鍍膜室中的部分。本實(shí)用新型的烘烤電極通過(guò)在電極桿兩端設(shè)置螺紋，在螺紋上安裝螺母及墊圈，實(shí)現(xiàn)了導(dǎo)線與電極桿可靠連接；通過(guò)在電極桿暴露于真空鍍膜室的部分包裹絕緣套，避免了該導(dǎo)線與其它電極上的導(dǎo)線接觸或?qū)⒔^緣座與電極桿連接部分蒸鍍上導(dǎo)電材料造成短路。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人汪光武;徐建龍;黃芃;
- 地址102600 北京市大興工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200920110302.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年07月24日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201459230U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2010年05月12日
- 分類(lèi)號(hào)C23C14/22(2006.01)I;
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