摘要：一種用于真空鍍膜機(jī)的高潔凈真空抽氣系統(tǒng)，包括真空鍍膜室、制冷盤管、高真空機(jī)組和低真空預(yù)抽機(jī)組，其特征在于：所述的高潔凈真空抽氣系統(tǒng)還包括高真空抽氣管道、高真空抽氣管道預(yù)抽機(jī)組，所述低真空預(yù)抽機(jī)組通過預(yù)抽真空管道與所述真空鍍膜室相連通，所述高真空抽氣管道與真空鍍膜室相連通，高真空抽氣管道與真空鍍膜室的連接處設(shè)有真空閘板閥，所述制冷盤管安裝在高真空抽氣管道內(nèi)部，所述高真空抽氣管道預(yù)抽機(jī)組與高真空抽氣管道相連通，所述高真空機(jī)組與高真空抽氣管道相連通，高真空機(jī)組與高真空抽氣管道的連接處設(shè)有高真空閥。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201020597023.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年11月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201857423U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年06月08日
- 分類號(hào)C23C14/22(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
