摘要：本實(shí)用新型公開了一種用于物理氣相沉積且能更好降低工件溫度的卡具，所述卡具包括金屬基座、金屬擋片、絕熱層和安裝孔，其特征在于：金屬基座上設(shè)有用于裝卡工件的溝槽，金屬基座除溝槽以外的表面上覆蓋絕熱層，金屬基座底部設(shè)有金屬擋片，金屬擋片不與工件接觸的一面上設(shè)有絕熱層，金屬基座上設(shè)有安裝孔。其中金屬基座由選自鋁、銅或鐵的一種高比熱材料組成，絕熱層為玻璃纖維或耐火纖維，溝槽中的各面與工件表面緊密接觸。該工件卡具優(yōu)點(diǎn)在于基座由高比熱材料組成，可以在吸收相同熱量的情況下具有較低的溫升。同時，金屬基座上覆蓋的絕熱層可以更好的隔絕來自外界的熱量。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京東方新材科技有限公司;
- 發(fā)明人張?jiān)讫?徐健;程云立;承高建;
- 地址100085北京市海淀區(qū)上地信息產(chǎn)業(yè)基地三街九號金隅大廈C座1112室
- 申請?zhí)?/b>CN200820122496.X
- 申請時間2008年10月21日
- 申請公布號CN201313932Y
- 申請公布時間2009年09月23日
- 分類號C23C14/22(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;
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