摘要：一種通過物理氣相沉積對易氧化工件進(jìn)行強(qiáng)化的方法以及用該方法處理的工件，包括：(1)在真空下采用載能離子轟擊工件表面以去除氧化膜；(2)在工件表面沉積一層厚度為0.01-2微米的不易氧化的金屬(Au、Pt等)或是能形成保護(hù)性氧化膜的金屬(Al、Cr、Ni、Ti等)；(3)將工件加熱至所需溫度；(4)再次用載能離子轟擊工件表面以去除步驟(2)中沉積的金屬和(或)氧化膜；(5)以常規(guī)物理氣相沉積方法在工件表面沉積一層或多于一層硬質(zhì)膜層或其他膜層。本發(fā)明提供的表面處理方法通過升溫前在工件表面沉積的不易氧化或是能形成保護(hù)性氧化膜的金屬，很好地限制了工件表面氧化膜的厚度，能避免易氧化工件在物理氣相沉積處理過程中因表面生成氧化膜而導(dǎo)致膜層結(jié)合不牢的問題。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京東方新材科技有限公司;
- 發(fā)明人徐健;張?jiān)讫?程云立;
- 地址100096北京市昌平區(qū)回龍觀鎮(zhèn)制版廠北區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN200710063072.0
- 申請時(shí)間2007年01月26日
- 申請公布號(hào)CN100473752C
- 申請公布時(shí)間2009年04月01日
- 分類號(hào)C23C14/00(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;
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