摘要：本發(fā)明公開了一種透明導(dǎo)電膜的制備方法，包括以下步驟：(1)在透明基板上用有機(jī)材料形成圖案；(2)開啟氣相沉積源，在該基板上以物理氣相沉積方式沉積一層透明導(dǎo)電膜；(3)開啟氣相沉積源，在透明導(dǎo)電膜上以物理氣相沉積方式沉積一層透明保護(hù)膜；(4)將該基板上的有機(jī)材料以及其上的透明導(dǎo)電膜和透明保護(hù)膜去除。本發(fā)明在制備透明導(dǎo)電膜之后隨即沉積一層保護(hù)膜，因此在沉積保護(hù)膜之前透明導(dǎo)電膜并未暴露于空氣而氧化。保護(hù)膜不僅能較好的防止或減緩?fù)该鲗?dǎo)電膜的氧化，同時(shí)因其具有較高的硬度而具有防劃功能、具有較低的折射率而具有減反功能。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京東方新材科技有限公司;
- 發(fā)明人張?jiān)讫?徐健;程云立;承高建;
- 地址100085北京市海淀區(qū)上地信息產(chǎn)業(yè)基地三街九號(hào)金隅大廈C座1112室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200810119982.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2008年10月21日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101430944A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年05月13日
- 分類號(hào)H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
