摘要：一種導(dǎo)電薄膜，包括層疊的M2O層，M導(dǎo)電層及R2O層，其中，M2O層的材料為氧化銅，氧化銀或氧化銅銀合金，M導(dǎo)電層的材料為金屬銅，金屬銀或銅銀合金，R2O層的材料為氧化鋰，氧化鈉，氧化鉀，氧化銣或氧化銫。上述導(dǎo)電薄膜通過(guò)在M2O層的表面沉積導(dǎo)電層及低功函的R2O層制備多層導(dǎo)電薄膜，M2O層既作為緩沖層和匹配層，既為M層導(dǎo)電作好鋪墊，保障疊層薄膜的導(dǎo)電性能，又與金屬M(fèi)層形成增透，提高薄膜的光學(xué)透過(guò)性能，而R2O層是低功函的材料，制備在疊層的表面使導(dǎo)電薄膜的功函數(shù)得到了顯著的降低并具有較高的透光性。本發(fā)明還提供一種導(dǎo)電薄膜的制備方法及應(yīng)用。
- 專利類型發(fā)明專利
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- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道海王大廈A座22層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310634130.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年11月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104681130A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年06月03日
- 分類號(hào)H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;
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