摘要：本發(fā)明提出多層型導(dǎo)電膜及其制備方法和電致發(fā)光器件，所述多層型導(dǎo)電膜由依次層疊的第一層膜、第二層膜以及第三層膜組成；其中：第一層膜的材質(zhì)為Al2O3；第二層膜的材質(zhì)為Al；第三層膜的材質(zhì)為MO3，M為W、Mo或Re。本發(fā)明多層型導(dǎo)電膜通過制備三層堆疊式的薄膜結(jié)構(gòu)，得到高功函，低電阻，高透光的性能。本發(fā)明多層型導(dǎo)電膜的制備只需要兩種金屬靶材，材料簡單，工藝簡單，容易成膜，整個制備過程可以同一腔體中進(jìn)行，不需要轉(zhuǎn)移引入其他污染。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 發(fā)明人周明杰;陳吉星;王平;黃輝;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道海王大廈A座22層
- 申請?zhí)?/b>CN201310613012.7
- 申請時間2013年11月27日
- 申請公布號CN104681128A
- 申請公布時間2015年06月03日
- 分類號H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;
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