摘要：一種真空鍍膜機的光柵閥控制裝置，包括電氣控制系統(tǒng)、步進電機和光電限位機構(gòu)，步進電機和光電限位機構(gòu)均與電氣控制系統(tǒng)電氣連接，通過電氣控制系統(tǒng)控制步進電機和光電限位機構(gòu)動作，所述步進電機的電機軸通過連接軸與光柵閥的主軸相連接，所述光電限位機構(gòu)由兩個光電感應器和固定安裝在所述連接軸上的遮光盤構(gòu)成，所述遮光盤上開有透光窄縫，它隨連接軸轉(zhuǎn)動，所述的兩個光電感應器以相互垂直方式安裝，分別對應光柵閥全開和全閉狀態(tài)。這種光柵閥控制裝置控制精度高，可以精確重復真空鍍膜工藝參數(shù)以保證鍍膜質(zhì)量，并且可以實現(xiàn)自動化控制光柵閥開啟角度。
- 專利類型實用新型
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201020525409.2
- 申請時間2010年09月09日
- 申請公布號CN201801574U
- 申請公布時間2011年04月20日
- 分類號C23C14/00(2006.01)I;F16K31/04(2006.01)I;
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