摘要：一種油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，包括冷阱體，上法蘭和下法蘭，其特征在于：所述組合冷阱還包括冷卻裝置和節(jié)流閥，所述下法蘭安裝在冷阱體的下端，上法蘭安裝在冷阱體的上端，所述冷卻裝置和節(jié)流閥由下而上依次安裝在冷阱體的內部。這種組合冷阱結構緊湊、氣阻小并且可以保證鍍膜區(qū)域氣流穩(wěn)定。
- 專利類型實用新型
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201020597024.7
- 申請時間2010年11月09日
- 申請公布號CN201855590U
- 申請公布時間2011年06月08日
- 分類號B01D8/00(2006.01)I;
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