摘要：本發(fā)明屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種可自鎖的基片擋板組件。包括大基板擋板、中間軸、主動(dòng)軸及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中大基板擋板和中間軸設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述大基板擋板設(shè)置于中間軸的上端，中間軸的下端端部為斜面I，所述主動(dòng)軸的一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，另一端為與中間軸下端端部的斜面I相對(duì)應(yīng)的斜面II、并插入真空腔體內(nèi)，所述主動(dòng)軸與真空腔體下端的真空室大法蘭轉(zhuǎn)動(dòng)連接，主動(dòng)軸的另一端上套設(shè)有套筒，所述中間軸的下端端部的斜面I插入所述套筒內(nèi)、并與主動(dòng)軸另一端的斜面II相配合；所述主動(dòng)軸通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)、并通過摩擦傳遞帶動(dòng)中間軸旋轉(zhuǎn)，中間軸和主動(dòng)軸通過摩擦角實(shí)現(xiàn)自鎖。本發(fā)明把基片擋板組件的中間軸和下面主動(dòng)軸通過摩擦傳遞轉(zhuǎn)動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)有效自鎖。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人郭東民;劉麗華;馮彬;孫影;佟雷;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街一號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210590798.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月29日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103045994A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年04月17日
- 分類號(hào)C23C14/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;
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