摘要：本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)。包括導(dǎo)軌支架、基片托、帶拔齒的傳動(dòng)鏈、基片及兩個(gè)主動(dòng)鏈輪，其中導(dǎo)軌支架設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述兩個(gè)主動(dòng)鏈輪分別設(shè)置于導(dǎo)軌支架的下端兩側(cè)、并通過帶拔齒的傳動(dòng)鏈傳動(dòng)連接，所述基片托設(shè)置于帶拔齒的傳動(dòng)鏈上、并與導(dǎo)軌支架滑動(dòng)連接，所述基片安裝在基片托上；所述主動(dòng)鏈輪驅(qū)動(dòng)帶拔齒的傳動(dòng)鏈水平移動(dòng)，帶拔齒的傳動(dòng)鏈上的拔齒帶動(dòng)基片托在導(dǎo)軌支架上水平移動(dòng)。本發(fā)明適用于熱場(chǎng)環(huán)境，能有效避免因熱形變導(dǎo)致的傳輸卡殼。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人劉麗華;馮彬;孫影;佟雷;馬錦;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街一號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210589980.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月29日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103046017A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年04月17日
- 分類號(hào)C23C14/56(2006.01)I;
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