摘要：一種雙級(jí)渦旋干式真空泵，其第一渦旋工作腔的外圓周側(cè)與左渦旋定盤上的進(jìn)氣口相通，在渦旋動(dòng)盤內(nèi)沿徑向設(shè)有氣流通道，數(shù)量至少為1個(gè)，氣流通道一端與第一渦旋工作腔的中心側(cè)相通，另一端與第二渦旋工作腔的外圓周側(cè)相通，第二渦旋工作腔的中心側(cè)與右渦旋定盤內(nèi)的排氣通道及排氣口相通。渦旋動(dòng)盤外圓周側(cè)與右渦旋定盤外圓周側(cè)之間通過波紋管密封連接，通過波紋管將第一渦旋工作腔外圓周側(cè)與第二渦旋工作腔外圓周側(cè)密封隔離。波紋管與渦旋動(dòng)盤、右渦旋定盤之間通過法蘭或焊接連接。本發(fā)明突破了現(xiàn)有雙側(cè)渦旋干式真空泵在壓縮比和極限真空度的限制，通過兩個(gè)串聯(lián)渦旋工作腔的雙級(jí)連續(xù)壓縮，提高了真空泵的壓縮比和極限真空度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人東北大學(xué);中國(guó)科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人岳向吉;巴德純;陸艷君;張英莉;劉坤;王光玉;張振厚;毛勵(lì)珩;
- 地址110819 遼寧省沈陽市和平區(qū)文化路3號(hào)巷11號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410804998.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年12月19日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104612968A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年05月13日
- 分類號(hào)F04C18/02(2006.01)I;F04C23/00(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;
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