摘要：本發(fā)明為高集成度和實用性的干式真空泵抽氣工藝模擬測試方法和測試系統(tǒng)，通過組建的模擬真空室，集成了氣、液、電、磁、熱、粉塵、腐蝕性等多種干式真空泵應(yīng)用環(huán)境中常見的元素，使用多種傳感器對同時具有溫度、濕度、氣體成分、實時圖像、壓力、流量和噪聲等信號進行反饋，并通過多個控制系統(tǒng)進行監(jiān)控，對干式真空泵抽氣工藝適應(yīng)情況進行檢驗和完善。本發(fā)明的測試系統(tǒng)采用嚴格的污染物收集和接駁處理，并具有危險示警和自動保護功能系統(tǒng)，具有安全性、智能性、綠色環(huán)保的特點和良好的可重復(fù)性，可以模擬包括輸送、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、刻蝕、光刻、化工、制藥等在內(nèi)的清潔、輕度污染、中度污染和重度污染真空環(huán)境的真空泵抽氣工藝環(huán)境。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人張振厚;王光玉;劉坤;孔祥玲;張曉玉;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街1號
- 申請?zhí)?/b>CN201310572691.8
- 申請時間2013年11月15日
- 申請公布號CN104632604A
- 申請公布時間2015年05月20日
- 分類號F04B51/00(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
