摘要:一種渦旋干式真空泵,屬于容積式真空泵技術(shù)領(lǐng)域。在渦旋干式真空泵的渦旋定盤上設(shè)置有若干處輔助排氣閥,輔助排氣閥的分布方式為:以渦旋工作腔的最大基圓展開角處為起點(diǎn),且展開角每減小2π就沿渦旋型線方向布置一個(gè)輔助排氣閥。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,突破了現(xiàn)有渦旋干式真空泵在定壓比工作方式上的限制,在渦旋定盤上設(shè)置了輔助排氣閥,當(dāng)入口壓力較高時(shí),能夠及時(shí)通過輔助排氣閥排除渦旋工作腔內(nèi)的一部分高壓氣體,使渦旋工作腔的壓力降到合理水平,在很大程度上避免了過壓縮現(xiàn)象的產(chǎn)生,從而減小渦旋體所受到的沖擊作用,使渦旋干式真空泵具有了工作平穩(wěn)、振動(dòng)小及節(jié)約能源的特點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人東北大學(xué);中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人巴德純;張英莉;岳向吉;陸艷君;王光玉;張振厚;
- 地址110819 遼寧省沈陽市和平區(qū)文化路3號(hào)巷11號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510330862.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年06月15日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104989641A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年10月21日
- 分類號(hào)F04C18/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;




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