摘要：本發(fā)明公開了一種分子泵的轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子的每層葉片之間不留間隙，并去除原分子泵轉(zhuǎn)子中的定片，直接將各層葉片層聯(lián)接；并通過調(diào)整不同層葉片的抽速與壓縮比，使所述轉(zhuǎn)子整體各層葉片的抽氣效能相互銜接。所述各層轉(zhuǎn)子葉片被設(shè)計(jì)成相鄰層葉片首尾相連的渦輪型結(jié)構(gòu)，并利用光滑連續(xù)的曲面連接所述各層轉(zhuǎn)子葉片。通過優(yōu)化轉(zhuǎn)子葉片的結(jié)構(gòu)，大幅降低加工轉(zhuǎn)子的難度，并降低了分子泵的損壞幾率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人董欣;郁晉軍;朱秀明;
- 地址102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請?zhí)?/b>CN201510092140.0
- 申請時(shí)間2015年02月28日
- 申請公布號CN104613008A
- 申請公布時(shí)間2015年05月13日
- 分類號F04D29/32(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I;
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