摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空室內(nèi)差動(dòng)式基片升降機(jī)構(gòu)，包括波紋管組件，波紋管組件的上部固定在真空室的上法蘭上，波紋管組件的下端連接有基片架，波紋管組件的上部與下部之間設(shè)有導(dǎo)向柱；波紋管組件的軸心部位設(shè)有差動(dòng)螺桿，差動(dòng)螺桿的上部與波紋管組件的上部通過(guò)螺紋連接，差動(dòng)螺桿的下部與波紋管組件的下部通過(guò)螺紋連接，差動(dòng)螺桿的上部螺紋與下部螺紋的螺距不同，差動(dòng)螺桿的上端設(shè)有螺桿手鈕。當(dāng)差動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，利用螺紋差動(dòng)原理，實(shí)現(xiàn)在真空環(huán)境中，方便、快捷、準(zhǔn)確的將基片升降到所需要的位置上，提高了整個(gè)設(shè)備的安全性與可靠性。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人劉潔雅;
- 地址102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220111913.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年03月22日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202530151U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年11月14日
- 分類(lèi)號(hào)C23C14/22(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;
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