摘要：本實(shí)用新型提供一種冷卻裝置，包括：冷卻液管(2)、冷卻片(3)與連接板(1)；冷卻液管(2)為U型，兩個(gè)U型開(kāi)口端穿過(guò)連接板(1)上的兩個(gè)開(kāi)孔，并焊接于連接板(1)上；冷卻片(3)為半圓形，包括兩組，每組包括多個(gè)；兩組冷卻片(3)分別間隔焊接于U型的冷卻液管(2)的兩側(cè)?？梢詫㈠兡み^(guò)程中的有毒氣體冷卻，使有毒氣體中的有毒物質(zhì)凝結(jié)為固態(tài)，以便下一步可以過(guò)濾有害成分，避免因無(wú)法過(guò)濾完全，有害氣體直接排入大氣污染環(huán)境，造成危害。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人侯榮華;黃芃;
- 地址102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201120199223.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年06月13日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202094165U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年12月28日
- 分類號(hào)H01L31/18(2006.01)I;
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