摘要：干法硅片自動插片機，包括機架以及安裝于機架上的提升機構(gòu)，其特征在于機架上安裝往復進給機構(gòu)以及皮帶傳送機構(gòu)，皮帶傳送機構(gòu)包括與動力源連接的主軸，主軸左右兩端分別裝有從動輪，輸送硅片的傳輸帶與所述從動輪及傳動輪連接，所述皮帶經(jīng)過將硅片輸送入硅片插片盒的導向槽；往復進給機構(gòu)包括連桿，連桿分別與連桿座、凸輪、下連桿座鉸接，凸輪與動力源連接，滑塊穿過所述凸輪以及連桿，滑塊、凸輪以及連桿通過兩個螺母、一個雙頭螺栓在軸向固定。本實用新型利用皮帶傳送機構(gòu)實現(xiàn)硅片的自動插片，插片效率高且破損率低。
- 專利類型實用新型
- 申請人無錫市南亞科技有限公司;
- 發(fā)明人凌兆貴;顧韻;王江華;李坤;
- 地址214024 江蘇省無錫市揚名高新技術產(chǎn)業(yè)園B區(qū)107號
- 申請?zhí)?/b>CN200920187714.2
- 申請時間2009年09月18日
- 申請公布號CN201508850U
- 申請公布時間2010年06月16日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;
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