摘要：濕法硅片自動插片機(jī)的送片槽板，包括底板，分別安裝在底板上的左側(cè)板以及右側(cè)板，底板上設(shè)置導(dǎo)流條，每個導(dǎo)流條分別開有一條凹槽，凹槽頭部與導(dǎo)流條之間設(shè)置過渡面，凹槽尾部與導(dǎo)流條尾部平齊，凹槽按長度的不同至少可以劃分為三組，每組的凹槽數(shù)量至少為三組，凹槽與導(dǎo)流條之間的過渡面為圓弧。所述凹槽及圓弧過渡面能使水流運(yùn)動產(chǎn)生浮點，避免硅片吸附在送片槽板上，使得硅片能快速平穩(wěn)的滑入硅片盒內(nèi)。
- 專利類型實用新型
- 申請人無錫市南亞科技有限公司;
- 發(fā)明人凌兆貴;顧韻;
- 地址214024 江蘇省無錫市揚(yáng)名高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園B區(qū)107號
- 申請?zhí)?/b>CN200920187713.8
- 申請時間2009年09月18日
- 申請公布號CN201508849U
- 申請公布時間2010年06月16日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;B65G51/01(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;B65B5/00(2006.01)I;B65B35/10(2006.01)I;
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