摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)水浴沉積鍍膜反應(yīng)器，應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池的制備工藝中，以制備CdS、ZnS或Zn(OH)等薄膜。該反應(yīng)器包括，上邊框、硅膠墊、儲(chǔ)液槽、下邊框、蝶形螺栓等。本發(fā)明的超薄化學(xué)水浴反應(yīng)器把化學(xué)水浴反應(yīng)用溶液的用量降低到極點(diǎn)，大大降低了藥品用量帶來(lái)的成本以及廢液回收費(fèi)用，鍍液量減少使水浴加熱消耗的熱量減少，節(jié)約了工序能耗；超薄的反應(yīng)器使加熱速度加快，使工序節(jié)拍加快，可提高原有設(shè)備產(chǎn)能；反應(yīng)速度加快的直接結(jié)果是使基片鍍膜工藝條件更加易于控制，更加均勻化，提高了鍍膜質(zhì)量；反應(yīng)器拆裝操作方便；更有利于工藝設(shè)備的小型化。
- 專利類(lèi)型發(fā)明專利
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