摘要:本實(shí)用新型涉及一種傳送裝置,具體為硅片分片傳送裝置,包括硅片組傳送裝置、豎向傳送裝置和水平過(guò)渡傳送裝置,豎向傳送裝置與水平過(guò)渡傳送裝置共用同一傳送帶,豎向傳送裝置與水平過(guò)渡傳送裝置的連接處有壓輪;傳送帶上有通孔,豎向傳送裝置還有硅片吸盤(pán),硅片吸盤(pán)安裝在傳送帶的背面,硅片吸盤(pán)上有氣孔,氣孔與傳送帶上的通孔對(duì)應(yīng),氣孔與抽氣裝置連接;硅片組傳送裝置末端還安裝有推送噴頭,推送噴頭噴射方向朝向豎向傳送裝置。分片后的單片硅片由推送噴頭推送到傳送帶上,傳送帶上的通孔通過(guò)負(fù)壓將單片硅片吸附住,通過(guò)傳送帶完成全部傳送,簡(jiǎn)化了傳送裝置的結(jié)構(gòu),并且定位精確,吸附負(fù)壓力小,傳送過(guò)程穩(wěn)定。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人無(wú)錫市南亞科技有限公司;
- 發(fā)明人顧韻;凌兆貴;
- 地址214024 江蘇省無(wú)錫市南長(zhǎng)區(qū)揚(yáng)名高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園B區(qū)107號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201520069887.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年02月02日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204473791U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年07月15日
- 分類號(hào)B65G47/06(2006.01)I;




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